MEMS元件采用了許多與電子芯片相同的制造技術，包括一系列不同應用的傳感器與驅動器 （actuators）；這些元件并不是新發明，其歷史甚至與IC差不多，不過多年來它們一直鎖定工業、汽車等應用領域，直到消費電子產業在智能手機、平板電腦等產品內固定采用MEMS傳感器，才引爆市場對該元件的大量需求，也開創MEMS元件的新應用。

　　MEMS傳感器、曝光傳感器等等，已迅速成為取代人類“五感”的電子元件；特別報導指出，MEMS市場的高成長性吸引了眾多廠商涉足或重新涉足該領域，而傳統IC產業的無晶圓廠業務模式，也開始對MEMS產業產生影響──盡管兩種產業的技術背景與所面臨的挑戰大不相同。

　　“能為人們提供更高生活品質的MEMS新應用，是最令人感到興奮的；”MEMS Industry Group管理總監Karen Lightman表示，MEMS傳感器可針對醫療診斷與復健應用提供監測功能，或是在植入裝置中透過MEMS驅動器為病患投藥…MEMS可帶來的各種拯救生命、改變人們生活的新技術，可說是永無止盡。

　　該報告總結指出，MEMS是扮演改革推動者角色的一種技術，能把電子產品的消費化轉換為它所帶來的個人化；未來我們將看到MEMS元件更多樣化，以及成為在真實世界與電子領域之間的入口。