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TDK發布低電阻高透射率的ITO導電薄膜

作者: 時間:2010-10-15 來源:網絡 收藏

  在“CEATEC JAPAN 2010”(10月5~9日,幕張Messe會展中心)上,發布了利用濺射法替代原來的涂布法對ITO層進行成膜的。據介紹,通過導入濺射法,實現了低電阻及高透射率。另外,由于底板采用PET薄膜而非玻璃,還實現了薄型輕量化。目前該公司正利用樣品開展受理訂單的活動。

  利用濺射法可實現低電阻及高透射率是“因為ITO的結晶之間的接觸性增強”(該公司的解說員)。此次通過導入濺射方式,與原來的涂布方式相比,表面電阻從700Ω/sp降低到了150Ω/sq,同時全光線透射率從89%提高到了92%。打算面向靜電容量式銷售此次開發的。另外,采用原來涂布方式的則定位于面向電阻膜式

  ITO透明導電性薄膜是通過在PET薄膜上形成ITO層而實現的。不過,此次采用濺射方式的薄膜在PET薄膜與ITO層之間形成了可調整色調及防反射的光學調整層。調整色調時可除去ITO特有的黃色將其調整為無色透明,或者調整為略帶有一點藍色的顏色。這些光學調整層利用涂布法形成。TDK在制造磁記錄媒體時積累的涂布技術方面具有優勢。該公司打算通過利用該涂布技術形成光學調整層,并導入濺射技術形成ITO從而提高ITO膜的特性,來實現與其他公司的差異化。



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