③能量色散型。以帶有半導體探測器和多道脈沖高度分析器為特征的X射線熒光光譜儀叫做能量色散型光譜儀。因其具有能同時測定多個元素（還能測背景）的優點，且數據處理快，故應用領域日益擴大。能量色散型儀器將于以后扼要敘述。
③非色散型。如圖2-3所示，一般使用正比計數器作探測器，因其能量分辨率所限，常需要使用濾光片。X射線源用放射性同位素（RI）或用小型X射線管。因其分析對象是組成元素簡單的樣品，且形狀小巧故常當作專用儀器或便攜式儀器使用。
④近年來出現了由波長色散型與能量色散型組合在一起的X射線熒光光譜儀，兼備各自的特長，以滿足特殊分析的要求。
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