基于高溫的微型壓力傳感器設計方案
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1可見，擬合的電容誤差小于1%.由此可見，在不同的時刻測得UO（t），通過曲線擬合得出參數RC.再給電路加小信號直流電源，測出R值，即求得C，通過C值則可知被測環境的壓力。圖5為350℃時，不同的壓力所對應的電容的理論值和實驗值，從實驗數據（表2）可得，在測壓的過程中，利用模型識別的方法，誤差較小，其測壓誤差小于2%.
3結束語
基于模型識別技術的高溫微型壓力傳感器電路簡單、工藝成本較低、體積小、可批量生產、準確度高。該傳感器避免了電阻式高溫壓力傳感器的自補償電路在高溫環境下工作時熱靈敏度漂移引起的誤差，也避免了其它電容式高溫壓力傳感器非線性補償電路在高溫環境下工作。該傳感器適合在各種高溫環境下測量氣體或液體的壓力。
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