為了確保a-IGZO TFT顯示器件的品質，必須對電氣穩定性進行評估。偏置溫度應力(BTS)研究(圖6)顯示，在相似AMOLED應力條件下，a-IGZO TFT的閾值電壓漂移(ΔVth，約為??0.2V)比a-Si:H TFT (>1.8V) 小得多，因而具有穩定的電氣特性。

薄膜封裝

　　OLED器件容易受到水分和氧氣等環境因素的影響。微粒則是另一個影響品質的重要因素，因其會導致屏幕暗點 (圖11)和分層等問題。有效的封裝對防止AMOLED材料受到水分和微粒影響至關重要，從而制造出更堅硬、更輕薄的柔性AMOLED顯示器。可以說，封裝的效果直接影響到AMOLED器件的壽命和照明性能(圖12)。

　　阻隔層可用于阻擋水和氧的滲透，緩沖層則可釋放堆疊膜應力，并覆蓋在上游工藝中產生的不理想顆粒。實驗結果顯示，WVTR阻隔層的性能表現十分理想，具有極高的光透射率(400納米大于 90%)和優異的沉積速率。SiCN緩沖層則表現出極高的光透射率(400納米大于 90%)和低應力(圖14)。

　　樣品已通過器件壽命試驗(7層SiN/SiCN )以及10萬次1英寸直徑的彎曲試驗(圖15)。在沒有高應力點的情況下，緩沖層能實現出色的顆粒覆蓋，不留任何空隙或擴散通道。

　　總結

　　應用材料公司提供先進的TFT背板和TFE制造解決方案，幫助面板廠商打造出經濟實惠的OLED電視。MOx背板有望簡化像素電路的設計，減少掩模工序和對昂貴設備的需求，同時提高整體TFT的均勻性。作為顯示設備制造商，應用材料公司通過對薄膜均勻性和微粒的有效控制，提高面板生產的成本效益，從而改進設備的整體良率和穩定性。TFE不僅提高了OLED電視的壽命，同時也推動著柔性OLED顯示設備的發展，帶來卓越的阻隔保護，并有望通過消除玻璃封裝工序而降低制造成本。應用材料公司的顯示設備制造解決方案有助于降低生產成本，從而推動OLED電視的進一步普及。