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日本住友精密收購Tegal離子刻蝕事業部
日本住友精密產品公司(SPP)日前完成了對Tegal離子刻蝕事業部的收購,由此促成Tegal轉型為太陽能系統項目開發商。Tegal以制造和銷售深度反應離子刻蝕(Deep Reactive Ion Etch,DRIE)設備而著稱,但該公司2009年就打算退出半導體設備行業,轉投新興的太陽能系統項目開發市場。
關鍵字:
住友精密
離子刻蝕
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