- 1 引言 隨著光通信技術的迅速發展，MEMS光開關由于具有插入損耗和串話小、消光比高、穩定性好、透明性和可擴展性好、易于集成、偏振不靈敏等優點，將成為核心光交換器件的主流。其靜電驅動是目前廣泛研究的一
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MEMS 光開關測量平臺
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