- 科學進步的歷史常常以利用無關應用開發和擴展的技術、材料和工藝為標志。一個明顯的例子是集成電路相關工藝技術如何催生微機電系統（MEMS）器件。利用這些資源，瑞典哥德堡大學的一個團隊將這些工藝和技術擴展，開發并評估了一種齒輪直徑在微米級的輕功率微型電機和齒輪組。他們認為，這比大多數現有設計在約0.1毫米最小直徑時“停滯”是顯著的縮小。迷你齒輪機械的挑戰什么是齒輪機械機？它可以定義為至少兩個機械部件相互作用，形成一個能夠產生和傳遞功的有機單元。這類微電機和機械系統的概念當然并不新鮮，但將它們整合進功能性微觀、齒
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半導體光刻 微米級 光驅動 電機 齒輪組
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