- 法國的市場研究機構Yole Development預期，明年MEMS設備產業表現將持平，不過在慣性MEMS組件、RF開關、能量采集與微反射鏡(micromirrors)等方面仍有技術創新的空間。
在Yole Development針對全球MEMS設備與材料市場所做的最新報告中，預期MEMS量產工具產業在2009~2010年間的表現持平，不過業者的MEMS設備研發活動仍將積極，以因應市場2011年的大幅成長。預期到2012年，MEMS設備市場規模可達到5億美元。
Yole指出，MEMS量產技
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微反射鏡 MEMS RF開關
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