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應用材料公司推出下一代電子束檢測設備具有業(yè)內最高的分辨率

　　應用材料公司今天宣布其下一代電子束檢測系統(tǒng)已在多家領先的晶圓代工廠，以及邏輯芯片、DRAM和3D NAND工廠得到廣泛應用。隨著客戶逐漸轉向更先進的技術節(jié)點，這款新一代電子束檢測系統(tǒng)能夠為其提供最高的分辨率和圖像質量，同時保持最快的檢測速度。　　應用材料公司新的 PROVision™系統(tǒng)是目前業(yè)界最先進的電子束檢測工具，結合了應用材料公司在電子束復查和測量領域長達20多年的領先經驗和最新創(chuàng)新成果。作為唯一的電子束熱點檢測工具，該系統(tǒng)提供精確到1納米的分辨率，使客戶能夠準確檢測出其他技術
關鍵字：應用材料電子束檢測

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