- 1、問：測量到最小尺寸能否達到12ΜM，或者能夠測到更小尺寸？答：可以，垂直分辨率是0.1nm，XY分辨率依物鏡而有...
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白光干涉儀 分辨率 掃瞄器
白光干涉儀介紹
白光干涉儀SIS系列采用增加相位掃描干涉技術，是專為準確測量表面輪廓、粗糙度、臺階高度和其他表面參數而設計的微納米測量系統,，為韓國SAMSUNG全球唯一指定供應商，LPL友好俱樂部成員，清華大學，臺灣大學，首爾大學友好合作伙伴。 1、非接觸式測量：避免物件受損。 2、三維表面測量：表面高度測量范圍為1nm-200μm。 3、多重視野鏡片：方便物鏡的快速切換。 4、納米級分辨率：垂直分 [
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