- 2020年5月28日，上海積塔半導體有限公司與盛美半導體設備（上海）股份有限公司正式達成戰略合作，簽約儀式在位于臨港新片區的積塔半導體公司臨港工廠舉行，由積塔半導體首席執行官洪沨博士與盛美半導體董事長王暉博士作為雙方代表進行簽約。雙方本著“平等互利、優勢互補、共同發展、誠實守信”的原則，正式簽約構建全面深化的戰略合作伙伴關系，雙方將發揮各自優勢，加速我國集成電路裝備國產化進程，在半導體設備及其相關工藝方面進行深入合作。積塔半導體首席執行官洪沨博士表示：很高興能與盛美半導體達成戰略合作，支持國產設備、材料，
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積塔半導體 盛美半導體
- 盛美半導體設備公司，作為國際領先的半導體和晶圓級封裝設備供應商，近日發布公司新產品：適用于晶圓級先進封裝應用(Wafer Level Advance Package)的無應力拋光(Stree-Free-Polish)解決方案。先進封裝級無應力拋光（Ultra SFP ap）設計用于解決先進封裝中，硅通孔（TSV）和扇出(FOWLP)應用金屬平坦化工藝中表層銅層過厚引起晶圓翹曲的問題。
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盛美半導體 晶圓 封裝
- 日前， 全球領先的晶圓濕法清洗設備供應商盛美半導體設備（上海）股份有限公司宣布，盛美半導體上海臨港研發及生產中心項目正式啟動。
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盛美半導體 臨港 集成電路
- 記者從近日舉辦的合肥經開區投資環境推介會上了解到，眾多來自國外的客商看好安徽工業引擎的區域發展前景，確定或有意愿前來合肥投資。“合肥是中部新興的城市，經開區是安徽工業強區”，美國空氣產品公司副總裁馮燕透露，該公司已經確定在合肥經開區投資5000~6000萬美元興建工廠，初步是為落戶于空港經濟示范區的長鑫集團提供工業氣體。據了解，該公司是全球工業氣體生產巨頭，全球化工行業50強之一。而長鑫集團項目是我省最大的集成電路產業項目，將快速帶動芯片設計、封裝測試等上下游配套企業集聚落戶，
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盛美半導體
- 盛美半導體設備(上海)有限公司日前宣布第一臺Ultra C 12英寸單片兆聲波清洗設備已經銷售給韓國存儲器制造巨頭。采用盛美的空間交變相移兆聲波技術(SAPS)，Ultra C無需用高濃度的化學藥液，而是采用極低濃度的功能水即可實現優越的顆粒去除率(PRE)，并且使材料的流失降到最低。該設備將用于客戶最先進器件的制造工藝上。
Ultra C定位于高端的清洗工藝。通過客戶端大生產線驗證，Ultra C清洗后的PRE在65nm及以上顆粒達到96%，在44nm至65nm顆粒之間PRE達到74%，單道清
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- 盛美半導體設備(上海)有限公司，日前推出最新的半導體制造設備——無應力拋光集成設備(the Ultra SFP)。該設備能夠對65nm及以下的銅互聯結構進行無應力、無損傷拋光。該設備整合了無應力拋光技術(SFP)、熱氣相蝕刻技術 (TFE)以及低下壓力化學機械平坦化技術(ULDCMP)，利用其各自獨特的技術優點，確保在整個拋光過程中對銅互連結構無任何損傷。
使用無應力拋光設備制造以二氧化硅(SiO2)為基體的空氣穴互連結構有諸多優點。其工藝簡單，可以使用傳統的二氧化硅介電
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盛美半導體 拋光集成設備
- 發達國家在芯片生產設備研發制造領域的國際壟斷有望在近期被中國企業打破。記者昨天從盛美半導體設備(上海)有限公司落戶張江慶典儀式上獲悉，這家由海歸人員創立的企業已經掌握了未來芯片生產所需的新一代生產技術，應用該技術的樣機已被Intel和美國LSI Logic公司采購。
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