- 近日,浙大杭州科創中心官微發文稱,浙江大學杭州國際科創中心(簡稱科創中心)先進半導體研究院-乾晶半導體聯合實驗室(簡稱聯合實驗室)首次生長出厚度達100 mm的超厚碳化硅單晶。文章指出,為提升碳化硅晶體厚度,聯合實驗室開展了提拉式物理氣相傳輸(Pulling Physical Vapor Transport, PPVT)法生長超厚碳化硅單晶的研究(圖1a)。 source:先進半導體研究院采用提拉式物理氣相傳輸法,聯合實驗室成功生長出直徑為6英寸(即150mm)的碳化硅單晶,其厚度
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浙大 碳化硅單晶
碳化硅單晶介紹
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