精度決定可靠性：超低電流測量中的誤差來源與最佳實踐

• 許多關鍵應用要求能夠測量到非常小的電流，如 pA量級或更小的電流。這些應用包括測定FET的柵極漏電流，測試靈敏的納米電子器件，以及測量絕緣器件和電容的漏電流。4200A-SCS參數(shù)分析儀配置4200-PA遠程前置放大器時， 具有最小10aA分辨率（10-16）的特殊低電流測量能力。小電流的成功測量不僅取決于使用像4200A-SCS這樣非常靈敏的電流表，還取決于在系統(tǒng)的Clarius軟件中選擇適當?shù)脑O置，使用低噪聲夾具和測試電纜，允許足夠的積分時間，并使用相關技術(shù)來防止影響精度的不必要電流。本文給出了Kei
• 關鍵字： 電流測量  超低電流測量  泰克