超純水 文章 最新資訊
納米粒子威脅：縮小半導體UPW計量差距
- 在不斷追求更小的節(jié)點和更強大的微處理器的過程中，半導體行業(yè)以絕對純粹為基礎運作。每一種材料、每一個工藝和每一個變量都必須以微觀級的精確度進行控制。其中，超純水（UPW）是最關鍵且使用最廣泛的化學物質(zhì)。它是晶圓廠的命脈，幾乎貫穿晶圓制造的每一個階段，從清洗、蝕刻到洗滌。這些水的質(zhì)量直接影響設備性能、制造良率，最終影響盈利能力。幾十年來，行業(yè)一直依賴已建立的方法來監(jiān)測UPW質(zhì)量。然而，隨著器件架構縮小到10納米門檻以下，這些傳統(tǒng)方法中的一個關鍵漏洞變得顯現(xiàn)。存在一個“計量學缺口”，納米顆粒和溶解分子污染物因太
- 關鍵字： 半導體 超純水 納米粒子
完善超純水系統(tǒng)提高IC制造良率
- 在電子工業(yè)中，集成電路特征尺寸不斷縮小，使得生產(chǎn)過程中超純水的水質(zhì)要求也愈來愈高。電子工廠潔凈廠房設計中純水供應是重要內(nèi)容之一，各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對純水水質(zhì)、水量要求均不相同。 IC制造應關注超純水水質(zhì) 電子產(chǎn)品生產(chǎn)中純水系統(tǒng)應根據(jù)原水水質(zhì)和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對水質(zhì)的要求，結合系統(tǒng)規(guī)模、材料及設備供應等情況，通過技術經(jīng)濟比較來選擇。純水系統(tǒng)的原水水質(zhì)因各地區(qū)、城市的水源不同相差很大，有的城市以河水為水源，即使是河水，其河水的源頭和沿途流經(jīng)地區(qū)的地質(zhì)、地貌不同，水質(zhì)也是不同的;有的城市以井水為水
- 關鍵字： 電子產(chǎn)品 IC制造 超純水
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超純水介紹
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