mems開關介紹
MEMS開關就是MEMS技術的具體應用。顧名思義,開關就是來控制電路通斷狀況的，高效、快速反應、準確、重復使用頻率、高可靠性是現代電路系統對開關的特殊要求。MEMS開關的研究始于1979年IBM的K.E.Peterson，隨后經過了二十幾年的發展，由于薄膜的柔軟和變形，MEMS開關始終沒有取得人們預期的成績。隨著通訊頻率的不斷增高，現有的半導體開關因不能滿足頻率的升高而失去開關能力。MEMS開關的 [
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