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奧林巴斯將推出可觀察IC芯片圖案的顯微鏡

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作者: 時間:2005-11-30 來源: 收藏
將于2006年1月5日推出共焦掃描紅外激光顯微鏡(Confocal Laser Scanning Microscope)“LEXT OLS3000-IR”,能夠對FCB(Flip Chip Bonding,倒裝焊接)后的IC芯片圖案及其背面,以及MEMS內部結構進行詳細觀察。同時還可用作SiP(系統級封裝)技術的無損檢測工具。含稅價為1207萬5000日元。 

  利用老式紅外顯微鏡對IC芯片的背面等進行觀察時,根據芯片背面的研磨狀態,外部可見光會因芯片表面而發生散射,因而不易進行觀察。而LEXT OLS3000-IR由于使用了共焦掃描光學系統,因此能夠清楚地觀察到芯片背面聚焦的位置。平面顯示分辨率為1024


關鍵詞: 奧林巴斯

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