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AIXTRON推出新款MOCVD設備AIX G5 HT

作者: 時間:2010-03-02 來源:電子產品世界 收藏

  德國設備大廠AIXTRON AG指出,新一代Platform AIX G5 HT系統已達成生產力目標。

本文引用地址:http://cqxgywz.com/article/106411.htm

  據悉,新系統在600 mbar以上的高壓下能以極高的速率完成高質量的氮化鎵沉淀,產量超過前一代系統的1倍,氮化鎵/氮化銦鎵也有優異的均一性。在無反應爐烘培或替換任何零件的情況下,上述晶膜的生成在臺灣晶電廠區連續進行。目前,此MOCVD反應爐正要轉換至量產階段。



關鍵詞: LED MOCVD

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