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巴斯夫創造用于集成電路的先進電鍍銅化學品

作者: 時間:2010-05-07 來源:SEMI 收藏

  創造出一種先進的電鍍銅化學品,可滿足現今及未來科技的需求。與IBM于2007年6月開始這一聯合開發項目,這項創新的化學品解決方案是其直接成果。這種解決方案的表現超越了市場上現有的其它化學品。

本文引用地址:http://cqxgywz.com/article/108733.htm

  兩家公司正擴展他們的合作計劃,以確定量產所需的參數。相關的技術、化學品和材料預計可于 2010年中期上市供應。

  全球電子材料業務部研發部門的資深經理兼該項目負責人Dieter Mayer表示:“我們為這一創新的化學品感到興奮無比。巴斯夫與IBM團隊選擇了一種新的方式,通過對于沉積銅物理特性的了解來設計分子添加劑系統。利用巴斯夫與IBM強大的資源,我們已經克服了在電鍍銅方面的主要挑戰,朝著制造更小、更快、更可靠的目標又邁進了一步。”

  實現無缺陷的電導線沉積是成功沉積銅工藝最關鍵的條件。在電鍍銅沉積工藝中,傳統的等向性充填(conformal fill)會在形體的上、下、外圍產生同樣的銅沉積率,形成接縫及缺陷。通過采用巴斯夫的化學品可以實現快速的充填,一般稱為“超填孔(superfill)”,可以將銅快速的充填至細小的通孔及溝槽,制造出無缺陷的銅導線。通過超填充的方式,底部的銅沉積率會比頂部及外圍更高。

  銅導線可顯著改善效能,這種高傳導性金屬的沉積是建構多層互連結構的關鍵性工藝。時下最先進的芯片技術被稱為技術節點,而下一代的22納米技術預期將于2011年推出。當芯片尺寸越來越小,互連結構日趨復雜,要制造出高性能的芯片就更需要專門的化學知識。同時,純熟完善的化學工藝解決方案也是必不可少的。

  巴斯夫的電鍍銅化學品已經可以應用在和22納米的芯片技術中,能明顯改善芯片銅導線的可靠性,提升芯片的性能和質量。



關鍵詞: 巴斯夫 芯片 32納米

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