諾發推出業界首套UVTP量產系統 —— 作者： 時間：2006-01-30 來源： 加入技術交流群 掃碼加入和技術大咖面對面交流海量資料庫查詢 收藏 <a target='_blank'><img src='https://ad.eepw.com.cn/www/delivery/avw.php?zoneid=88&cb=INSERT_RANDOM_NUMBER_HERE&n=a635e61e' border='0' alt='' /></a> <a target='_blank'><img src='https://ad.eepw.com.cn/www/delivery/avw.php?zoneid=87&cb=INSERT_RANDOM_NUMBER_HERE&n=a576c0a2' border='0' alt='' /></a> 諾發系統有限公司推出了SOLA™—業界首套針對先進介電薄膜的淀積后處理的紫外熱處理（UVTP）系統。它是實現晶體管水平高應力氮化硅薄膜和互連層致密性或多孔性低–k介電材料等許多先進薄膜應用的關鍵設備，結合了紫外光與熱處理相，使薄膜材料的淀積后處理可在450
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