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Altatech Semiconductor獲得德國科研機構的CVD設備訂單

作者: 時間:2011-02-13 來源:Altatech 收藏

   Semiconductor獲得了一份多功能Alta平臺訂單,該訂單來自德國慕尼黑Fraunhofer Research Institution。該200mm Alta系統可用于等離子體增強工藝,也可用于低于氣壓的CVD工藝,Fraunhofer中心將用該設備在硅晶圓和SOI晶圓上淀積介質層。

本文引用地址:http://cqxgywz.com/article/116709.htm


關鍵詞: Altatech CVD

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