3. 軟件組件部份

控制探針下針位置，觸發高壓產生器的充放電模組，控制輸入的電壓充電完成后對待測LED放電并量測結果顯示。

三、LED晶圓靜電量測模組系統組裝與測試結果

完成高壓產生器交流電壓調變電路設計制作如圖4，使用高壓探棒實際量測交流電壓振幅峰對峰6.26kV－最大交流振幅:3.13kV，測試驗證結果直流電壓值最大值8.08kV ，于8kV電壓經由短路輸出端短路電流測試于放電電阻:1500 Ω +/- 1%條件下，峰值電流達5.46A (理論值:8000/1500=5.33)。完成LED靜電點測模組規格驗證于靜電電壓4Kv并于以下測試條件:

(1)常溫、常濕、大氣環境下

(2)測試探棒:頻寬大于1 GHz電流探棒

(3)充電電容:100 pF +/- 10% (effective capacitance)

(4)放電電阻:1500 Ω +/- 1%

重復量測HBM短路峰值電流5次結果如下:

峰值電流量測理論值2.66A于一小時后峰值電流2.70A，偏移量1.5%，滿足測試規范峰值電流2.40~2.96A@4kV與HBM負載短路上升時間2.0~10ns@4kV。

圖4 高壓產生器完成電路模組

四、結論

本文對所開發高速大動態范圍LED晶圓靜電量測模組，使輸出電壓可涵蓋規范靜電分類之最小電壓250V至最大電壓8000V大動態范圍r并縮短低電壓切換至高電壓上升時間至80ms以內，未來將進行小型試量產與至客戶端進行耐久測試，并視商品化需求進行修改，以達高速與大動態范圍LED晶粒線上檢測與分類目的。于應用方面除可用于LED靜電測試外主，搭配探針點測技術可應用于半導體BGA、CSP(Chip Scale Package)、FC(Flip Chip)微小元件晶圓靜電測試。進一步應用包括可用于X-ray Tubes、Photomultiplier Tubes、Electron Beam Focusing等。