2026年1月16日，我國領先的半導體工藝在線測控解決方案提供商——上海車儀田科技有限公司，在北京亦莊經濟技術開發區舉行了“北京新工廠擴產啟用儀式暨媒體開放日活動”。車儀田科技創始人兼CEO張黎明和北京車儀田科技CEO倪志松接受了EEPW等媒體記者的采訪。 

據悉，上海車儀田成立于2022年6月，專注于等離子體光譜分析、高精度溫度測控、氣體濃度分析及真空閥門等核心技術，先后推出多款填補國內空白的終點檢測系統、氣體分析儀及多場集成解決方案。作為國內半導體設備龍頭公司的光電類零部件戰略供應商，截至2025年，公司產品累計出貨量近5000臺，國內市場占有率超20%，年營收更是突破億元！ 

此次北京新工廠的擴產標志著車儀田在半導體加熱與溫控領域的產能布局、工藝升級與客戶服務能力實現跨越式提升。北京新工廠占地面積近10,000平方米，規劃建設16條加熱帶自動化生產線，年產值目標直指5億元。北京新工廠分為幾個階段，一期投資額為5,000萬元，今年第一年要完成營收6,000萬元的目標。未來3年內計劃投資1億元左右。新工廠的選址在我國集成電路產業的重鎮——北京亦莊，與中芯國際、北方華創等fab廠、設備廠緊鄰，對服務客戶提供了便利條件；另外，上海車儀田在北京有了橋頭堡，可以更快地提供售后維修等服務。這樣，公司在北京與上海兩地深化布局，建立起包括等離子體終點檢測、高精度溫度測控、氣體濃度分析、真空閥門等在內的完整技術體系。

1 獲得“潑天的富貴”的秘訣

車儀田2022年6月才成立，為何在短短3年半時間內獲得了爆發式的成長？未來還有數億元產值的宏偉藍圖？主要有兩方面的原因：一是技術上有很多積累和創新；另外在宏觀上，正趕上我國半導體產業蓬勃發展的大好契機，以及國際地緣政治的影響。

具體來說，車儀田核心團隊有數十年的行業深耕與產品產業化的經驗，例如車儀田科技創始人兼CEO張黎明先生過去是海外零部件的使用者，對技術和應用場景非常熟悉。然而遺憾的是，那時業界對國產設備不太認可，國產零部件廠商即便把技術做得再扎實也無用武之地。轉機是過去幾年，我國半導體產業受到過貿易制裁，以及缺芯、供應鏈短缺等影響，加快了國產設備及零部件的認可度，尤其是2024年年底美國新一輪制裁把國內幾乎所有主流半導體設備廠商拉進制裁清單之后，使得設備廠和fab公司幾乎買不到美國零部件了，才有機會把車儀田的業務拉上來。

未來，車儀田在國產替代方面還有很長的路要走。因為國產零部件在設備上的應用比例還很低，目前還只是用在很少的環節上，諸如在線檢測、加熱帶等領域，約占行業20%的市場份額。車儀田希望通過“技術引領”與“規模交付”并行的雙輪驅動，把這個百分比繼續提升。

車儀田科技創始人兼CEO張黎明（左1）和北京車儀田科技CEO倪志松（左2）與媒體記者

2 北京新工廠如何提升效率和品質

實際上，2024年北京車儀田就在順義成立了，拓展了半導體加熱帶業務，此次又在亦莊又建立了新工廠。按道理，像車儀田這樣的勞動密集性較高的企業不太適合在北京建廠，因為北京的人力成本偏高。為此，車儀田計劃通過對機器設備、新工藝的引進，甚至自動化線的引進來提高生產率，希望與此拉開與競爭對手的差距。實際上，車儀田也一直是這么做的，從最開始到現在，整體人員效率已經提高了1.5倍。

產品的一致性是非常重要的。車儀田的產品品類繁多，定制化程度高，為一致性的提升帶來了難度，為此，車儀田主要通過機器的參與和設計理念的加持來保證一致性。

車儀田的加熱帶產品對標的是國外/瑞士一家很成熟公司的產品。車儀田的特色是什么呢？北京車儀田科技CEO倪志松指出，現在行業里有一個很大的問題，最近幾年從較高制程向較低制程快速演進，例如從28納米到7納米、5納米，對加熱帶的要求也越來越高。主要有兩個點：一是溫度的均勻性；另一個是在高溫時，材料或顆粒釋放的程度。從顆粒釋放上，因為現在很難拿到國外的產品，難以評判；但是在國內同行中，車儀田應該是國內首家提出可以在200℃持續使用時不去釋放顆粒的，這也是車儀田一個現在較強的優勢。另外，在溫度均勻性上，這也是車儀田目前在做的，在國內同行里是靠前的。

對于加熱帶最核心的技術——控制和均勻性，北京車儀田在控制上很早就開始做相關業務，做了很多檢測和測試設備；另外是在生產過程中，陸續引入半自動化和全自動化的設備。

加熱帶產品

3 從追趕到形成優勢

相比國外，整體上車儀田等本土廠商還是在追趕國際廠商。國際上的傳統廠商有很多亮點，包括在安全性和可靠性上。本土廠商還需要一些時間去積累。好在過去本土廠商沒有應用環境——客戶不給你機會，本土廠商沒法去試用和改進，現在是客戶催著本土廠商去改進、嘗試，促使本土廠商在加速前行，而且由于國產設備的要求也比過去高了，所以促使本土產品在性能上越來越強。 

● 有時國產零部件的起步比國外更高。車儀田科技創始人兼CEO張黎明先生20年前用國外零部件的時候，國內的產品很難進入，但那時人們覺得這是正常的。但是現在國內的設備公司對零部件的要求是按照成熟標準來提出的——對國產零部件的要求非常高，甚至高過國外的產品，因此對國內零部件的性能指標/穩定性等非常苛刻。

● 在新產品開發上，車儀田在性能指標、尺寸上更有優勢。當前我們的fab和設備廠商現在用的海外零部件大部分是海外公司的成熟產品，有的還是十幾年前就已經定型的產品，這些老產品也存在一些問題，例如所用的元器件體積較大，技術也較老。車儀田在芯片、電子等方面的技術每年都在提升，甚至是翻倍式地成長，相比之下，海外十幾年前的技術較為落后，車儀田有時為了對標海外老產品，還得去找舊的零部件。

● 在成本上，本土產品肯定比海外便宜很多，因為海外零部件的價格高，通常不是因為材料成本高，而且因為整體利潤很高。

4 向“國產化2.0”奮楫前行

現在半導體產業鏈有一個熱門話題叫“國產化2.0”。在“國產化1.0”階段，主要依賴行政力量與安全焦慮的推動，部分國產產品以“備胎”存在，目標是實現特定元器件的對標和替代，性能與成本未必最優。到了“國產化2.0”階段，更倚重以建鏈、強鏈、補鏈驅動產業高質量發展。從車儀田角度，在“國產化2.0”方面做了哪些探索和嘗試？

● 建鏈

車儀田也有產業鏈協同進化的任務與使命。在目前還沒有被替代的材料與元器件方面也有任務去找到國內的供應商，然后驗證他們的產品。相信兩三年內，上游廠商的產品也會逐漸引入，這是大趨勢。

而且上游做的一些產品在性能指標上已經不比海外差了，只是應用基礎比較薄弱，客戶的認可度還沒有起來，這是一環扣一環的，但是最終的大趨勢是：中國的產品可以有充分的自信，在性能等各方面會越來越完備，價格也便宜，服務也越來越周到。

● 強鏈

車儀田科技創始人兼CEO張黎明指出，“國產替代2.0”的基因從一開始就存在。車儀田最初跟客戶溝通的時候，客戶在用產品時，除了有可能會被卡或者真的就被斷供了，還有一個訴求就是過去用海外零部件時缺乏售后，也沒有定制，所以想改一點設計很困難。在這個點上，車儀田的優勢就體現出來了。而且國內設備公司現在有很多自己的想法，甚至超越了海外，因此對零部件提出來了要做一些更先進的功能，來支撐它們的先進設備。

北京車儀田科技CEO倪志松稱，從北京車儀田的加熱帶產品角度看，往上的提高更多的還是要圍繞客戶的需求，這才是最終的一個根本，不能脫離了客戶的需求去做研發，否則是無根之木。所以車儀田要跟客戶緊密地結合，把他們在現場端的實際訴求轉化成我們的創新產品。

● 補鏈

車儀田也在不斷擴展業務。2022年，公司成立之初便推出OES終點檢測系統填補國內空白；2023年乘勢而上，氣體分析產品成功落地，當年獲頭部客戶“金牌供應商”認證；2024年北京車儀田成立，進一步拓展了半導體加熱帶業務。2025年車儀田戰略收購上海近碩并整合真空閥門業務，實現產品生態關鍵補位；集團全年累計出貨量近5000臺，年營收突破億元大關！

車儀田的產品組合

未來這種擴張并購的勢頭還會持續。因為這種整合也是基于一些客戶的需求，因為半導體設備的泵上面有上千個零部件，如果每個零部件有一家供應商，需要1000多家的供應商，而且各家的品質管控也無法統一，導致設備商的成本會很高。所以設備商會傾向于把零部件采購集中到很少數的幾家。從國際上看，這也是行業的大勢所驅，國際零部件巨頭都是逐漸整合起來的。

其次，車儀田的定位是在線測控類的零部件，這類零部件帶有軟件算法的部分，這也是車儀田的優勢所在。車儀田從品質管控到技術儲備等方面都做了充分的鋪墊，這樣對未來去做外部的整合也是有基礎的。所以車儀田會沿著這個思路去拓展。 

總體上，國內在這短短幾年時間，已經在走“國產化2.0”這條路，2.0已呼之欲出，這個速度甚至比預期的還要快。同時，“國產化2.0”也是水到渠成的，只要車儀田等本土廠商在這個大趨勢里做好自己，隨著設備和fab客戶的成長，相信會自然而然地成長到2.0，客戶也會釋放出這個機會給車儀田等上下游廠商的。