MEMS陀螺儀的重要參數包括：分辨率(Resolution)、零角速度輸出(零位輸出)、靈敏度(Sensitivity)和測量范圍。這些參數是評判MEMS陀螺儀性能好壞的重要標志，同時也決定陀螺儀的應用環境。

分辨率是指陀螺儀能檢測的最小角速度，該參數與零角速度輸出其實是由陀螺儀的白噪聲決定。這三個參數主要說明了該陀螺儀的內部性能和抗干擾能力。對使用者而言，靈敏度更具有實際的選擇意義。測量范圍是指陀螺儀能夠測量的最大角速度。不同的應用場合對陀螺儀的各種性能指標有不同的要求。

微機械陀螺儀用于測量汽車的旋轉速度(轉彎或者打滾)，它與低加速度計一起構成主動控制系統。所謂主動控制系統就是一旦發現汽車的狀態異常，系統在車禍尚未發生時及時糾正這個異常狀態或者正確應對個異常狀態以阻止車禍的發生。比如在轉彎時，系統通過陀螺儀測量角速度就知道方向盤打得過多還是不夠，主動在內側或者外側車輪上加上適當的剎車以防止汽車脫離車道。現在這種系統主要安裝于高端汽車上。

目前在汽車MEMS市場，壓力計和加速度計還是占較大份額，(圖十四)但是隨著對汽車安全性能要求越來越高，尤其是在北美和歐洲穩定性主控系統的安裝率節節攀升，陀螺儀的市場增長率明顯比前兩類要快，在2011年預期達到10%。