沈陽富創承擔的“基于焊接和表面涂覆技術的大型鋁件制造技術開發”項目，已得到國家“十二五”02重大專項支持。“這一技術突破，使我們在半導體裝備，包括極大規模集成電路裝備的零部件加工能力達到國際領先水平。該技術還可拓展到航空、航天、航海等領域。”企業相關負責人介紹。同時，中科儀、沈陽新松也獲得千萬元以上國家重大專項資金支持。

　　沈陽市科技局相關負責人介紹，沈陽將大力推進機器人、IC裝備等產業發展，把沈陽打造成以機器人為核心的高端裝備制造產業基地。

　　為推動機器人產業發展，沈陽將突出龍頭企業的研發活動，并以中科院沈陽自動化所為依托，設立新型研發實體，圍繞機器人產業鏈開展研發、中試相關工作，并鼓勵一批高新技術人才創業。

　　今年，沈陽新松開展了智能型工業機器人應用研究，將力控制技術和視覺技術在機器人平臺上進行集成應用，開發了研磨拋光工業機器人，主要應用于衛浴五金行業;視覺分揀機器人，可廣泛應用于食品等行業;精密裝配機器人，可應用于家電電子等行業。“在IC裝備機器人方面，我們也進行了集成傳輸平臺的研制。”新松相關負責人說。

　　IC裝備產業方面，沈陽將在繼續推動承擔國家重大專項的同時，研究如何通過風險投資、股權激勵等政策措施，鼓勵企業發展壯大。

　　在IC裝備產業方面，沈陽是中國具有較高影響力、較強產業優勢的城市之一。僅今年上半年，沈陽IC裝備企業就實現產值12億元，同比增長11.6%，實現營業收入8.7億元，同比增長11.5%，實現利潤8500萬元，上繳稅金1600萬元。

　　沈陽荊拓公司最新研發的12英寸高產能生產型PECVD設備，不僅與華進、蘇州晶方等半導體公司簽訂設備采購合同，而且成功進入臺灣市場，企業申請專利69項，已獲得授權38項。沈陽芯源公司“凸點封裝涂膠顯影、單片濕法刻蝕設備的開發與產業化”項目，截至目前已實現銷售43臺，銷售額達5840萬元，產品出口達650萬美元，并向LED等領域輻射，銷售額達1.08億元。沈陽市科技局將組織實施機器人產業重大科技專項和技術成果轉化工程，開展機器人產業創新服務體系建設。設立“機器人與智能制造創新研究院”，實現科研與產業有效銜接。