美國吉時利（Keithley）儀器公司，日前宣布授權位于加利福尼亞利弗莫爾的FormFactor公司為吉時利半導體參數(shù)測試儀制造高性能參數(shù)測試探針卡。FormFactor公司所提供的探針卡將應用于吉時利S600系列參數(shù)測試儀，進行測量超低直流電流，以及對接觸半導體晶圓的PIN腳進行標準直流參數(shù)測試。晶圓制造商和代工廠可以采用S600系列測試儀對用于組裝和封裝的晶圓進行合格性檢測或工藝監(jiān)測。

　　FormFactor公司Takumi探針卡非常適合于吉時利最先進的參數(shù)測試儀——S680型直流/射頻參數(shù)測試系統(tǒng)的相關應用。S680是專門針對高級邏輯、存儲器、模擬IC電路的晶圓級參數(shù)測試而設計，它在一套測試系統(tǒng)內(nèi)實現(xiàn)并行測試功能、高靈敏度直流測量、飛安級分辨率測量和高達40GHz的射頻s參數(shù)測量。該系統(tǒng)為65nm以上工藝節(jié)點的參數(shù)測量提供當前業(yè)界最高的測試產(chǎn)能和最低成本。

　　S680是高靈敏度、高速信號測試的理想選擇。其設置信號前置放大器在測試頭上，能放大僅幾厘米長的探針內(nèi)低電平信號，將放大后信號通過電纜傳輸?shù)较到y(tǒng)機柜內(nèi)的測試儀中進行分析。本方法消除了一般情況下電纜和開關矩陣導致的速度與靈敏度損耗。利用8個通用通道將外部儀器直接與探針連接在一起。

　　吉時利認為FormFactor公司在苛刻工藝、微小尺寸PAD和微細間距應用方面具備世界頂尖設計水平，在測試結構和劃片線的特征尺寸日益縮小的情況下，以上應用必須支持高性能的測量需求。

　　吉時利副總裁、商務經(jīng)理Mark Hoersten表示，“對FormFactor公司的授權表明吉時利決心繼續(xù)提供最新的探針卡與參數(shù)測試測量技術，并為客戶擴大探針卡的可選數(shù)量。 FormFactor的探針卡體現(xiàn)了極高性能工藝，充分滿足當前電子設備采用尺寸日益縮小的元件所帶來的精密測量挑戰(zhàn)。”

　　FormFactor高級副總裁、研發(fā)與首席技術官Benjamin N. Eldridge表示，“將我們的Takumi參數(shù)測試平臺擴展至吉時利的測試儀上，對于我們雙方客戶皆極具戰(zhàn)略意義，半導體廠商在將工藝移植到65nm以下節(jié)點的過程中，必須依靠測試公司提供最新測量技術。吉時利長期以來在低電平直流半導體測試領域一直居創(chuàng)新技術領導者地位，與吉時利的緊密合作將推動我們共同提高技術融合水平。”