- IMEC已成功演示利用ASML最先進的極紫外（EUV）設備，實現納米孔徑的全晶圓級制備。ASML的產品傳播經理稱其為“意外地出色的生物醫學應用”，這可能是一項重要進展，因為納米孔開辟了分子感測的可能性。納米孔的特性在生物醫學中備受關注。正如你可能從詞源中推斷的，納米孔本質上是幾納米寬的微小孔洞。用更貼近生活的說法來說，這些毛孔的直徑大約是人類頭發的一萬倍。這么微小的穿孔有什么用？納米孔可以被生物醫學傳感器利用，因為分子與其相互作用的方式。它們在檢測中的科學原理是：測量到流經納米孔的離子電流，分子通過時會產
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ASML芯片 極紫外光刻機 生物醫學 分子傳感納米孔
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