- 為眾多半導體與微機電系統 (MEMS) 廠商提供所需的解決方案，蝕刻與沉積設備及技術的領先供應商，memsstar Limited今日推出用于生產微機電系統 (MEMS)的蝕刻與沉積工藝工具 ORBIS™ 平臺。ORBIS 系統可實現業界最高端的單晶圓工藝，滿足高端 MEMS 生產在均勻性與重復性方面的要求。
“移動設備、‘物聯網’與兆級傳感器的迅猛增長加快了 MEMS 技術的采用。” memsstar 的首席執行官 Tony McKi
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ORBIS MEMS
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