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Picarro宣布用于半導體晶圓廠的氣體分子污染監測系統

  • Picarro宣布推出經我們完全優化的AMC監控系統——Picarro SAM(取樣Sample、分析Analyze和監測Monitor)。該系統由Picarro在業界領先的基于CRDS的傳感器組成,該傳感器已集成到最新的采樣系統中。SAM單元可提供高通量采樣,而不會影響傳感器的性能。?新的Picarro SAM系統是從組件產品到系統解決方案的重大轉變。一站式的設計、制造和測試系統的好處包括:?針對Picarro硬件和軟件設計且完全集成的系統——無集成兼容性問題??Picarro SA
  • 關鍵字: Picarro  半導體晶圓  
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