- 電容-電壓 (C-V) 測量廣泛用于半導體材料和器件表征,可提取氧化物電荷、界面陷阱、摻雜分布、平帶電壓等關鍵參數。傳統基于 SMU 施加電壓并測量電流的準靜態方法適用于硅 MOS,但在?SiC MOS 器件上因電容更大易導致結果不穩定。為解決這一問題,Keithley 4200A-SCS 引入?Force-I QSCV 技術,通過施加電流并測量電壓與時間來推導電容,獲得更穩定可靠的數據。Force-I QSCV 技術在 SiC 功率 MOS 器件上體現出多項優勢。比如僅需 1 臺帶前
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202509 SiC MOSFET 界面陷阱檢測 QSCV 泰克
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