- 意法半導體(STMicroelectronics，簡稱ST)，宣布其獨有且已通過標準機構認證的THELMA60(用于制造微型陀螺儀和加速度計的60μm厚多晶硅外延層制造工藝)表面微機械加工MEMS傳感器制造進入量產階段。
過去，半導體廠商是依靠兩種不同的制造工藝來大規模生產高精度3D MEMS產品，例如加速度計、陀螺儀、麥克風和壓力傳感器。業界公認表面微機械加工技術 (Surface Micromachining) 的成本效益更好，而基板微機械加工技術 (Bulk Micromach
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意法半導體 陀螺儀 THELMA60
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