- 12月21日，《中國科學報》報道，上海交通大學教授肖文德領銜研發的具有自主知識產權的硅烷大規模生產新技術600噸/年中試生產項目，在河南平煤神馬集團試車成功，并已連續穩定生產出純度大于99.9999%的高品質硅烷產品。該項目的成功標志著高純度硅烷大規模生產技術獲得突破。
據了解，我國電子和大規模集成電路行業的芯片進口總額去年高達2300億美元。其中，一個重要原因是缺乏高純度晶體硅材料，而生產高純晶體硅必須以高純硅烷為基礎。我國電子工業幾十年來一直在尋找高純硅烷大規模生產的方法，希望掃清中國信息產
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集成電路 芯片 硅烷
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