MEMS技術的目標是通過系統的微型化、集成化來探索具有新原理、新功能的元件和系統。MEMS技術是一種典型的多學科交叉的前沿性研究領域，幾乎涉及到自然及工程科學的所有領域，如電子技術、機械技術、物理學、化學、生物醫學、材料科學、能源科學等。其研究內容一般可以歸納為以下三個基本方面：

1.MEMS理論基礎：

在當前MEMS所能達到的尺度下，宏觀世界基本的物理規律仍然起作用，但由于尺寸縮小帶來的影響(Scaling Effects)，許多物理現象與宏觀世界有很大區別，因此許多原來的理論基礎都會發生變化，如力的尺寸效應、微結構的表面效應、微觀摩擦機理等，因此有必要對微動力學、微流體力學、微熱力學、微摩擦學、微光學和微結構學進行深入的研究。這一方面的研究雖然受到重視，但難度較大，往往需要多學科的學者進行基礎研究。

2.MEMS技術基礎：

MEMS的技術基礎可以分為以下幾個方面：(1)設計與仿真技術;(2)材料與加工技術(3)封裝與裝配技術;(4)測量與測試技術;(5)集成與系統技術等。

3.MEMS應用研究：

人們不僅要開發各種制造MEMS的技術，更重要的是如何將MEMS技術與航空航天、信息通信、生物化學、醫療、自動控制、消費電子以及兵器等應用領域相結合，制作出符合各領域要求的微傳感器、微執行器、微結構等MEMS器件與系統。