激光微加工系統及基于DSP+FPGA的控制單元的研究
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在經過對上面兩個誤差的修正后，選用硅（100）進行了部分微加工的實驗。通過光學顯微鏡對結果進行觀測可知，系統實現了較好的微加工效果。在空氣環境下，采用20 kHz的激光頻率，獲得激光輸出能量為150 μJ，在2 mm/s的運動速度下加工出微六邊形，如圖6所示。本文引用地址：http://cqxgywz.com/article/191783.htm
為了滿足微加工的需要，設計了納秒脈沖激光微加工系統，尤其是實現了具有圖形解析和高速數據處理功能的控制單元，解決了現有設備的關鍵問題，使加工系統在操作性和精度上都有很大提升，為下一步工作的展開奠定了良好的基礎。
參考文獻
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