三星首次引入紫外層薄膜是在美國泰勒工廠

• 三星電子將首次在美國泰勒晶圓廠推出“極紫外（EUV）薄膜”，這是一種提升先進(jìn)半導(dǎo)體工藝生產(chǎn)力的關(guān)鍵組件。此前尚不清楚是否會引入，但通過訂購關(guān)鍵設(shè)備幾乎確認(rèn)了申請。根據(jù)22日的行業(yè)報(bào)道，三星電子已在美國德克薩斯州泰勒工廠訂購極紫外涂層設(shè)備。FST將收到價值250億韓元的極紫外膜剝離與附著設(shè)備及檢驗(yàn)設(shè)備訂單。極紫外膜是安裝在光罩上的超薄保護(hù)元件，用于曝光過程。半導(dǎo)體將光體現(xiàn)在帶有預(yù)先繪制電路的光罩上，并被嵌入晶圓上。通過施加極紫外膜，可以防止細(xì)顆粒和污染物粘附光罩表面，從而減輕產(chǎn)率劣化。為了在暴露設(shè)備中使用極
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