三星電子將首次在美國泰勒晶圓廠推出“極紫外（EUV）薄膜”，這是一種提升先進半導體工藝生產力的關鍵組件。此前尚不清楚是否會引入，但通過訂購關鍵設備幾乎確認了申請。
根據22日的行業報道，三星電子已在美國德克薩斯州泰勒工廠訂購極紫外涂層設備。FST將收到價值250億韓元的極紫外膜剝離與附著設備及檢驗設備訂單。
極紫外膜是安裝在光罩上的超薄保護元件，用于曝光過程。半導體將光體現在帶有預先繪制電路的光罩上，并被嵌入晶圓上。通過施加極紫外膜，可以防止細顆粒和污染物粘附光罩表面，從而減輕產率劣化。
為了在暴露設備中使用極紫外層濾膜，需要專門的剝離和連接濾膜設備以及檢查設備以檢查狀態，因此決定將它們帶到泰勒晶圓廠。FST設備不僅支持下一代碳納米管（CNT）極紫外層薄膜，還支持現有的金屬硅化物（MeSi）極紫外層薄膜。
此前，作為競爭對手的臺積電自2019年以來，逐步引入日本三井化學的金屬硅化物極紫外陽層，并將其應用于先進工藝。
三星電子分別于2020年和2021年投資S&Stech和FST，以推動極紫外膜的定位。此次對相關設施的投資分析顯示，已確保一定的績效，相關技術即將引入。這意味著極紫外濾膜的核心性能指標——耐久性和透射性已達到令人滿意的水平。
一位行業官員表示：“目前，極紫外涂層的質量評估正在進行中，但積極的是，定制廠將配備符合大規模生產應用的設備。”泰勒制造廠是三星電子正在建設的半導體制造工廠，目標是在今年下半年開始2納米（nm）的量產。特斯拉的人工智能（AI）芯片“AI5”也計劃在今年內在此量產。
三星電子擁有70多臺極紫外電子設備，僅次于臺積電，規模第二大。因此，預計國產極紫外電子薄膜的引入將對設備和零部件行業產生重大影響。EUV薄膜的價格估計超過6000萬韓元。

值得注意的是，它只部署在泰勒，而不是在韓國。