Axcelis 推出 Purion H6 高束流離子注入機(jī)

• Axcelis Technologies 近日推出了一款全新的高束流離子注入設(shè)備，精準(zhǔn)面向下一代半導(dǎo)體制造需求。公司表示，其 Purion H6 系統(tǒng)旨在為先進(jìn)制程節(jié)點提供更高純度、更精密的工藝控制以及更強(qiáng)的生產(chǎn)效率。對于關(guān)注半導(dǎo)體設(shè)備創(chuàng)新的《eeNews Europe》讀者而言，此次發(fā)布意義重大：離子注入仍是邏輯芯片、存儲器、圖像傳感器及成熟制程中不可或缺的關(guān)鍵工藝步驟。在劑量控制精度、污染抑制和產(chǎn)能方面的改進(jìn)，將直接影響晶圓廠的良率、擁有成本（Cost of Ownership）和整體運(yùn)營效
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