最近一段時間，半導體設備供應商又開始忙碌起來，因為久違了的訂單又開始紛至沓來。

　　SUSS MicroTec公司2010年3月2日宣布，已從安靠公司獲得多種300毫米光刻設備的后續訂單。本次設備采購訂單包括MA300 Gen2光刻機以及ACS300 Gen2晶圓片工藝生產機組。這些設備將用于晶圓片級封裝、焊料凸點光刻和三維一體化技術。在韓國光州安靠K4及臺灣新竹安靠 T1工廠的設備安裝預計將于2010年第三季度完成。

　　1月27日，先進MEMS、功率IC和光器件制造方案供應商Tegal Corporation宣布從某領先的精確定時器件制造商處獲得Tegal 200 SE DRIE設備訂單，該設備配備Tegal ProNova ICP源。200 SE DRIE設備通過了客戶的嚴格評估，將被用于開發MEMS基精確定時器件。

　　Ultratech2月25日宣布，從臺灣大型LED芯片制造商接獲LED微影系統訂單，這套系統專門優化高亮度LED(HBLED)的制造。這位客戶也承諾會再訂購Sapphire 100系統，應付未來數季的需求。

　　近期，臺灣晶圓雙雄宣布針對65、40納米以下先進制程產能將大幅擴產。臺積電今年資本支出48億美元(約新臺幣1538億元)，創歷史新高。聯電今年資本支出約12億至15億美元(約新臺幣385億至480億元)，上限比去年大增1.72倍，主要用于建位于南科12A 廠的40/45納米制程產能，并導入28納米技術研發與試產設備。

　　2010年對于半導體設備供應商來說將是一個不錯的年頭。剛剛跨入2010年，紛至沓來的訂單使緊繃了一年的設備商的面孔終于露出了笑容，這一切將預示著半導體設備業終于熬過了“寒冬”，迎來了“春天”。