氟化氫(HF)又被稱為蝕骨水或化骨水，為半導體制造不可或缺的材料。日本政府日前宣布強化包含HF等3項材料出口南韓的管理，使三星電子(Samsung Electronics)、SK海力士(SK Hynix)采購部門大感緊張，開始規劃各種替代方案。南韓雖是記憶體及OLED強國，但生產材料、設備多仰賴國外。長期以來，南韓材料產業缺乏天時、地利及人和，HF等材料國產化發展異常緩慢，這次日本強化出口管理措施，是否讓南韓產業從根本解決過度依賴日本窘境？值得持續關注。

日本強化管理HF出口，南韓半導體生產慘遭鎖喉

日本政府7月4日開始對包含HF在內的3項材料，強化出口南韓的管理措施，三星、SK海力士得知後，便開始四處尋找替代對策。目前南韓業者雖有HF精煉技術，與日本企業仍有差距，日本企業掌握HF關鍵精煉技術，宣布拉高HF出口南韓的管理後，宛如拿了一把刀架在南韓半導體脖子上，就算南韓半導體業者現在開始積極與南韓中小企業合作，短期內也無法逐一調整所有半導體制程。

事實上，HF在到達三星、SK海力士半導體工廠，投入蝕刻或洗凈制程前，還得經過許多過程。半導體制造使用液體與氣體HF，液狀產品為蝕刻液，氣狀產品為蝕刻氣體，HF主要扮演去除氧化膜物質功能，使堆疊層保持乾凈平滑，如果不使用HF進行清潔，每次制程皆可能發生污染，影響晶片功能。

傳統制造HF方式，是利用螢石與硫酸反應產生氣體，之後再經過蒸餾、降溫等方式取得液態HF。螢石又被稱為氟石，算是一種「類稀土」，中國大陸螢石開采量約達全球的6成，由於采礦屬高污染產業，因此許多國家如美國、加拿大與歐洲等，雖有螢石礦藏卻未進行開采，沒有螢石礦源的臺灣也得仰賴進口。

一般而言，石油化學制造使用99.9%的HF，但半導體制造須使用99.999%以上的HF。南韓業者多從日本進口高純度HF。使用超高純度HF可提升半導體良率，但超高純度HF并不便宜，相同容量的HF純度從99.9%提升至99.99%，產品價格可能相差30%。

全球各大化工廠積極研發各種方法，制造符合工業級需求的高純度HF。目前高純度HF多由日本企業供應，液體及氣體HF主要由Stella Chemifa、森田化學(Morita Chemical)及昭和電工主宰市場。

缺乏大企業及政府奧援，南韓HF國產化原地踏步

南韓部分業者雖具有HF制造技術，但是無法大量生產，這是因為缺乏需求所致。長期以來，南韓大企業多與日本企業進行交易，南韓中小型業者如想搶單，須在價格或品質上下功夫。然而，身為後方追兵的南韓中小企業，在提升品質與壓低價格上屢屢遭遇挫敗，徒有技術卻遲遲無法將其事業化。

身為買方的南韓大企業，考量日本技術較佳、價格便宜，因此長期以來多喜愛采購日本產品。過去這種采購方式，卻造成今日HF供應主導權掌握日本手中，成為日本箝制南韓半導體產業的利器。

韓媒國民日報日前報導，早在2011年7月曾有某間南韓中小企業，提出超高純度HF生產技術專利，其運用超音波震動器，可精煉出半導體蝕刻制程用超高純度HF，純度達99.999999999%以上。

南韓中小企業與大企業合作不成的部分原因，也與南韓政府加強化學物質工廠設置管理有關。2012年南韓龜尾市發生8公噸氫氟酸外泄事件，之後南韓政府大幅提高化學工廠設置條件及標準。

2015年南韓修正《化學物質管理法》及《化學物質登錄及評價法》，不但有害化學物的登錄與管理趨於嚴格，相關設施的設置標準，也從原本的79項增至413項，測試不同化學品程序變得繁瑣，采用新化學物質時須向主管單位進行報備，業者除擔心業務機密外流，也影響相關業者投資意愿。南韓業界因此認為從日本進口，不但便宜、品質好，又可省下不少麻煩，故未積極投入HF國產化。

不過就在日本對南韓施行出口管理後，南韓大企業與政府的態度，開始出現明顯轉變；南韓政府開始接受業界建議，推動HF新技術開發，計劃給予大企業20~30%、中型企業20~40%、中小企業30~40%研發費用稅制減免，也考慮將半導體產相關業，從1周52小時工時制中排除。

南韓政府目前計劃，縮短化學物質許可時間，支援新化學物質上市。透過政府政策支援、大企業增加投資，以及中小企業投入研發生產等，南韓正在加速建構價值鏈與實現國產化，也許最快半年~1年，南韓去日本化成果將會逐漸浮現。

掌握關鍵原料與技術，日百年企業優勢短期難撼動

所謂君子報仇3年不晚，像Stella Chemifa、森田化學，成立至今已有百年歷史，投入研發HF時間少說也有數十年，三星、SK海力士近日雖傳出大力推動HF國產化，預料韓廠與日廠間的技術差距短期難以克服，盡管如此，南韓HF等關鍵材料國產化勢在必行。

1916年Stella Chemifa創立於大阪，1994年與南韓業者Soulbrain等，於南韓忠清南道公州設立生產公司FECT，制造半導體生產用高純度氟化學物質(HF、NH4F等)。Stella Chemifa官網表示，由於具有業界最獨家的優異精煉技術，成功精煉出12N (99.9999999999%)純度HF，獲得全球半導體業者極高評價。

創立於1917年森田化學，在南韓也設有生產工廠。森田化學為日本第一家將HF商用化的業者，2010年與ENF Technology、三星物產及KAI等，在忠清南道牙山合資設立FEM Technology，主要從森田化學進口原料再加工，成品供應南韓業者。

生產HF的日本材料企業，雖然在南韓設有合資或子公司，但原料卻得從日本進口，因日本企業對核心技術外流高度警戒。目前已有不少南韓業者投入國產化研發，打算從中國大陸進口原料加以精煉，例如Soulbrain等致力國產化蝕刻液，SK Materials擬采自行研發技術生產蝕刻氣體，但想追上日本的技術、品質與產量，仍然需一段時間，南韓政府與企業須有制定中長期計畫與長期抗戰的心理準備。

長期以來，南韓大企業與中小企業合作并不密切，加上南韓HF設廠屢遭民間團體反對，HF國產化陷入停滯。這次日本政府對出口南韓關鍵材料拉高管理，或許是出於國際及國內政治情勢的必然，但南韓關鍵材料國產化水準低落，關鍵技術掌握外國企業之手，則是無法與之爭辯的實然。

有監於保護貿易主義臺頭，三星、SK海力士等已開始多元化供應鏈，重新審視如何分散供應鏈的風險。如同HF殺人不見血，日本這次出招可說是刀刀見骨，正中南韓產業要害，百年化骨水帶給南韓半導體產業的痛，不知能否讓南韓真正有所領悟與改變，大企業開始與中小企業合作，攜手走上HF國產化的長征之路。