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電科材料6英寸碳化硅外延片產業化取得重大進展

作者: 時間:2023-04-27 來源:全球半導體觀察 收藏

近日,外延片產業化工作取得重大進展,中高壓外延片月產能力實現大幅提升。

本文引用地址:http://cqxgywz.com/article/202304/446039.htm

外延片,指在碳化硅襯底上生長了一層有一定要求的、與襯底晶向相同的單晶薄膜的碳化硅片,是用于制造高性能半導體器件的關鍵材料。持續布局第三代半導體外延材料研發生產,實現一系列技術突破,在碳化硅外延領域,完成3300V碳化硅外延材料研發。同時,積極與國產設備廠商合作開發生產裝備,推動碳化硅核心裝備國產化。未來,將持續創新突破,推出更多高端碳化硅材料產品。




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