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NanoPhotonics向ISMI出貨450mm晶圓檢測設備

作者: 時間:2009-02-20 來源:SEMI 收藏
        據Semiconductor International網站報道,簽訂合約,將向出貨兩臺用于450mm的缺陷檢測設備。

        這兩臺設備分別是Reflex MC 450和BevelCam MC 450,兩臺設備將和450mm設備前端模塊一同集成于 450mm協同測試試驗臺。

本文引用地址:http://cqxgywz.com/article/91436.htm


關鍵詞: NanoPhotonics ISMI 晶圓

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