目前，本土廠商在半導體制造的核心設備研發制造上仍然遠遠落后于國外企業，供應的設備也主要集中在前后道工序中精度要求相對較低的設備品種中，包括拋光研磨機，外延爐，刻蝕機，倒角機，固晶機等。2008年，中國大陸境內工廠提供的半導體制造設備共實現銷售額10.0億人民幣，其中89.6%的銷售是由本土廠商提供。西安捷盛，七星華創和中電四十八所三家廠商占據中國半導體制造設備供應市場31.2%的市場份額。

　　根據Frost & Sullivan研究顯示，中國本土半導體制造設備生產商的發展呈現兩種發展趨勢。

　　第一，由半導體制造設備轉向太陽能電池生產設備，典型代表包括中電四十八所和北方微電子。由于太陽能電池生產本身對設備精度要求要低于半導體生產，這就意味著設備研發的技術門檻較低，周期也會較短，便于設備制造商的進入;另一方面，太陽能電池生產設備行業目前仍處于有限競爭，高利潤的階段，再加上光伏產業近幾年受到政府的大力扶持而迅猛發展，這樣就不難解釋這些設備生產商向光伏產業的轉變。目前，中電四十八所已經形成了一整套完備的關于硅基太陽電池生產線的系統方案，北方微電子也已經完成了晶硅太陽能平板式PECVD的研發，其薄膜太陽能平板式PVD設備目前也在最后的研發階段。

　　第二，加大對更高技術要求的半導體制造設備的研發，典型代表包括上海微裝和格蘭達。政府對于電子信息領域的技術突破所提供的資金和政策支持調動了生產廠商的研發積極性，另外，高端制造設備所意味的高利潤同樣也是吸引企業投入巨資進行關鍵技術研發的動力。上海微裝主要從事用于光刻機及其它相關設備的研發制造，目前其仍然處于產品研發階段;格蘭達自主研發的全自動晶圓檢測機已于2008年實現上市銷售。

　　當前，中國半導體產業處于升級換代的時期，半導體產業升級的速度也決定了相關設備制造業的發展;與此同時，中國政府出臺的電子信息產業振興規劃也為中國半導體行業的發展帶來了新的希望。這樣看來，后危機時代的中國半導體及設備制造行業將無疑會迎來更大的挑戰和機遇。