近日，盛美半導體設備研發與制造中心落成暨投產典禮在上海市臨港新片區順利舉行。

官方資料顯示，2020年7月7日，盛美臨港項目正式開工。該項目共有5個單體，包含兩座研發樓、兩座廠房和一座輔助廠房，總建筑面積13.8萬平方米。其中廠房面積4萬平方米，共有兩座廠房A和B。據悉，盛美臨港項目是盛美清洗、電鍍、先進封裝濕法、立式爐管、涂膠顯影和PECVD等高端半導體裝備基地，僅廠房A的產能就完全可以達到現有的上海川沙工廠的產能，年產可以實現300-400臺，年產值可以達到50億元以上，并且還有提升潛力。到明年廠房B裝修完畢投入使用后，預計實現兩座廠房百億產能，從而支撐公司躋身綜合性國際集成電路裝備企業的第一梯隊。

盛美半導體董事長王暉表示，盛美完全有信心實現兩座廠房百億產能，從而支撐公司躋身綜合性國際集成電路裝備企業的第一梯隊。公開資料顯示，盛美半導體已發展成為國內集成電路濕法清洗設備和電鍍設備領軍企業，產品覆蓋集成電路前道、先進封裝和晶圓制造領域。其中在清洗和電鍍設備細分領域，盛美半導體清洗設備已經覆蓋了95%工藝步驟應用，電鍍設備實現技術全覆蓋。其中值得注意的是，面板級封裝是AI芯片未來發展的必由之路，盛美已經率先推出了面板級電鍍、負壓清洗、邊緣刻蝕設備，有望在共同推動具有高精度特性的大型面板先進封裝行業進步以及扇出型面板級封裝技術市場發展。

中國（上海）自由貿易試驗區臨港新片區黨工委委員、二級巡視員龔紅兵表示，臨港新片區是習近平總書記親自謀劃、親自部署、親自推動的新一輪改革開放的重大戰略決策。臨港的使命，從國家角度，是“試驗田”，為中國新時期的改革開放試制度、探新路、測壓力；從上海的角度，是“增長極”，為上海新一輪的發展做量的支撐、質的保障。

據悉，新片區成立5年來，在集成電路產業上，形成了龍頭牽引、全鏈布局的產業體系，新片區用5年時間，集聚了300多家在國內外有影響力的集成電路企業，覆蓋芯片設計、制造、材料、裝備、封測、核心零部件等各個領域，已經成為整個上海、長三角乃至全中國，集成電路產業集聚度最高、產業規模最大、產業生態最完整的地區。

隨著新興技術如AI的發展，全球半導體設備市場高速增長，也為國產半導體設備帶來了新的發展契機。根據SEMI預計，2023年全球半導體設備銷售額同比下降6%至1009億美元，而中國大陸半導體設備市場規模達到創紀錄的342億美元，增長8%，全球占比達到30.3%。預計2024年中國大陸半導體設備市場規模將達到375億美元，增長9.6%。未來，隨著國內半導體產業的持續發展，國產半導體設備的需求有望繼續提升。

目前我國半導體設備企業正在加大技術研發，?在技術創新方面國內企業在刻蝕、清洗等領域已經取得了一定的突破，未來在光刻機、量測檢測設備等關鍵領域也有望實現技術突破。在國產化替代方面，隨著國內政策的持續支持和國內晶圓廠對國產設備的認可度不斷提高，國產半導體設備的國產化率將進一步提升。預計未來幾年，在去膠、CMP、刻蝕和清洗設備等領域的國產化率將繼續提高，同時在光刻機、量測檢測設備等領域的國產化率也將逐步提升。