據 Information Network報道，繼2008年銷量下跌25%之后，2009年全球半導體光刻工具的銷量進一步下跌了47%。按銷售數量計算，去年光刻工具的銷量總和下降了54%，其中248nm DUV光刻機的銷量下降的最嚴重，售出的數量下跌了70%。

　　去年光刻機銷售營收最高的是ASML公司，其所占的市場營收份額達到50%，而尼康公司則在銷售的光刻機數量方面保持領先，其售出的光刻機數量占到了總量的56%。而2008年，ASML公司則在銷售營收和銷售機臺數量上均排在頭名。