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SUSS MicroTec推出面向LED市場的專用光刻系統

作者: 時間:2010-06-10 來源:SEMI 收藏

  SUSS MicroTec,全球知名的半導體行業及相關設備和工藝解決方案供應商,推出新一代MA100e機,專用于高亮度發光二極管(HB-s)生產。MA100e基于SUSS MicroTec機經典設計,具有最大至4英寸的載片能力,每小時產量可達145片,業界領先。

本文引用地址:http://cqxgywz.com/article/109861.htm

  電視機、顯示器等對背光的需求急劇增長,設備生產商必須盡力滿足這一市場增長需要。LED行業對成本很敏感,所以SUSS MicroTec設計的MA100e Gen2自動機在成本控制方面極具競爭力。設備配置的高照度光路和預對準系統大大縮短作業時間,功能上接近式光刻分辨率可達2.5um,極大提高了產率和成本效率。MA100e Gen2提供卓越的工藝延展性,使用戶能將新的芯片設計快速投入市場。

  SUSS MicroTec總裁兼首席執行官Frank Averdung先生指出:“我們清楚地認識到尖端高亮度發光二極管技術日益增長的需求,并且看到LED業界為降低成本而開始向高度自動化方向發展。SUSS MicroTec開發的新一代的MA100e正是專為LED生產設計的高效率全自動光刻機,可以幫助我們的用戶降低每流明成本,提高生產效率。”



關鍵詞: LED 光刻

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