大約10年前，歐盟出臺了限制鉛、水銀等6種有害材料使用的法案，在電子產業界掀起了軒然大波。最近歐盟開始了RoHS法案的修改議程，曾經擁有豁免權的電子電氣設備和半導體光伏制造設備面臨新一輪考驗。SEMI RoHS工作組正積極與歐盟相關部門溝通，力爭避免檢測與控制設備、相關零部件等被列入RoHS法案的這一最壞可能性。