領先的MEMS設計供應商Coventor和納電子研究中心imec共同宣布戰略合作，以改善和拓展CMOS和MEMS集成技術的設計與制造。合作將包括雙方研發路線的統一，及研究內容的互補。雙方將共同為imec的SiGe MEMS-above-IC工藝開發工藝設計包。