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卡脖子也沒用 國內廠商芯片新技術繞過EUV光刻機

作者: 時間:2022-06-20 來源:ZOL 收藏

毫無疑問,如今國內廠商面前最大的障礙就是,不過是研制先進的一條路徑,但并非唯一解。    對于國內廠商來說,當前在3D NAND閃存的發展上,就因為不需要機器,從而找到了技術追趕的機會。而在DRAM內存領域,盡管三星、美光、SK海力士找到的答案都是EUV,可來自浙江海寧的芯盟則開辟出繞過EUV光刻的新方案。

本文引用地址:http://cqxgywz.com/article/202206/435323.htm


芯盟科技CEO洪沨宣布基于HITOC技術的3D 4F2 DRAM架構問世。他指出,基于HITOC技術所開發的全新架構3D 4F2 DRAM芯片,最大特點是不需要用到EUV,也不需要多重圖形曝光SAQP(Self-Aligned Quadruple Patterning)步驟,這可以大幅減少成本,更重要的是,避免了設備被國外制造商卡脖子。
    所謂HITOC,即Heterogeneous Integration Technology on Chip的縮寫,就是運用先進的晶圓對晶圓和晶粒對晶圓混合鍵合制造工藝,將不同類型的晶圓或晶粒上下對準貼合,以實現真正的三維異構單芯片集成。



關鍵詞: 芯片 EUV 光刻機

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