中國首條全自動化8英寸MEMS生產線投產
近日,中國電子系統工程二號建設有限公司(CESE2)宣布,中國蚌埠傳感器谷8英寸MEMS晶圓生產線項目首批產品成功下線。這標志著我國首條全自動化8英寸MEMS晶圓生產線,也是首條擁有全套工藝設備的壓電MEMS量產線正式投產。
此前,中國高端MEMS芯片嚴重依賴進口。該產線的投產有望有效緩解國內產能短缺,實現關鍵領域,特別是汽車電子和工業控制領域的國產化,從而保障產業鏈安全。
此外,中國首條全自動8英寸MEMS晶圓生產線的建立和投產,標志著蚌埠市從傳統制造中心向以智能傳感器為中心的創新中心轉型。該國家戰略性項目總投資50.6億元人民幣(7.1億美元),占地79畝,規劃總建筑面積約6萬平方米。一旦全面建成,其每月3萬片晶圓的海量產能不僅將鞏固其在國內MEMS生產中的領先地位,還將支撐中國高端制造供應鏈的自主權和可控力。









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