功率器件熱設(shè)計基礎(chǔ)(十四)----熱成像儀測溫度概述
摘要
功率半導(dǎo)體熱設(shè)計是實現(xiàn)IGBT、SiC高功率密度設(shè)計的基礎(chǔ),只有掌握功率半導(dǎo)體的熱設(shè)計基礎(chǔ)知識和測試的基本技能,才能完成精確熱設(shè)計,提高功率器件的利用率,降低系統(tǒng)成本,并保證系統(tǒng)的可靠性。功率器件熱設(shè)計基礎(chǔ)系列文章已經(jīng)比較系統(tǒng)地講解熱設(shè)計基礎(chǔ)知識、相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)和工程測量方法,本篇的話題是《使用熱成像儀測溫度的注意事項》。
用熱成像儀測溫度,在電力電子系統(tǒng)設(shè)計和驗證中,是一個簡單有效的非接觸式測溫度的方法,非常受工程師的歡迎,但工程應(yīng)用中的一些疑問和誤區(qū)需要梳理一下。
你有沒有想過,熱成像儀為何能“看見”溫度?
任何物質(zhì),只要溫度高于絕對零度,都會根據(jù)其溫度發(fā)射紅外輻射,這種輻射由原子熱運動產(chǎn)生,其波長由溫度決定。為了衡量不同物體發(fā)射紅外能量的能力,我們引入一個理想模型——“黑體”。它像一位完美發(fā)熱的標(biāo)桿,其發(fā)熱只與溫度相關(guān),而現(xiàn)實中物體的“發(fā)射率”,則衡量了它模仿這位標(biāo)桿的得分。黑體是滿分1分的話,現(xiàn)實中的物體的發(fā)射率則在0~1之間。一些表面光亮或者拋光后的金屬發(fā)射率較低,約為0.1,因它光滑如鏡,偏愛反射而非輻射熱量,實際的熱量更易通過傳導(dǎo)快速散失。許多非金屬材料如木材、塑料或橡膠等表面相較粗糙,很少發(fā)生反射,輻射率也通常較高,能達到0.8~0.95。熱成像儀正是捕獲物體散發(fā)的紅外輻射——再將其轉(zhuǎn)換為可見的熱圖像,讓我們直觀感知世界的冷熱。
簡述紅外測溫原理
紅外測溫的核心原理是普朗克黑體輻射定律,通過檢測物體自身向外輻射的紅外線能量,并將這些輻射能量強弱轉(zhuǎn)換為相應(yīng)的電信號,儀器內(nèi)的計算系統(tǒng)會根據(jù)這些電信號計算出物體表面的溫度值,每一個像素點都會生成一個溫度數(shù)據(jù),并映射到特定的顏色,最終在屏幕上合成一副直觀的熱分布圖像。這一方法無需與被測物體直接接觸,屬于“非接觸式測溫”技術(shù),廣泛應(yīng)用于電力電子系統(tǒng)設(shè)計驗證中,用于測量PCB板子溫度,母排和熔斷器溫度,功率半導(dǎo)體溫度,在《功率器件熱設(shè)計基礎(chǔ)(四)——功率半導(dǎo)體芯片溫度和測試方法》一文中講述了用紅外成像儀測功率半導(dǎo)體芯片溫度的案例。
使用熱成像儀時的注意事項
為了實現(xiàn)精確測量,使用熱成像儀時需要注意如下幾點:
01
距離與視野
熱成像儀并非測量一個“點”,而是捕獲一定范圍內(nèi)所有紅外輻射的平均值,這就是距離(D)與視野(S)的原則的重要性。在使用熱成像儀時,一定要關(guān)注空間分辨率這個參數(shù),通常用IFOV(Instantaneous Field of View)表示,單位是毫弧度(mrad)。它告訴我們每個像素點代表了實際多大的面積,一般mrad值越小,說明空間分辨率越高,熱成像儀看的越“精細”,而熱成像儀的像素數(shù)量也即它的紅外分辨率,數(shù)值決定了圖像的清晰度,適用于大范圍全景掃描的通常在300X300上下。同時,空間分辨率決定了測量距離D和最小可測目標(biāo)尺寸S之間的關(guān)系,如下所示:


S: 測量目標(biāo)的最小直徑(m)
D:熱成像儀距目標(biāo)的距離(m)
IFOV: 熱成像儀的空間分辨率(mrad,1 mrd=0.001 rad)
如果一臺熱成像儀的IFOV是1.5mrd,也即0.0015rad,那么當(dāng)熱成像儀距目標(biāo)的距離為10m時,它能分辨出的最小目標(biāo)尺寸是S=D*IFOV=0.015m,即1.5cm。因此,為了準(zhǔn)確測量,應(yīng)確保被測量的目標(biāo)尺寸比熱成像儀能測量的最小目標(biāo)尺寸更大,至少2倍為宜。
02
環(huán)境條件
紅外輻射在空氣中傳播時,并非暢通無阻,空氣中的水蒸氣、灰塵、煙霧等都會吸收和散射紅外線,從而妨礙精確測溫。在濕度、灰塵含量較高的場合下使用時,要注意紅外輻射的衰減,探測遠距離目標(biāo)時可以配備長焦鏡頭來保證清晰度。若有異物顆粒落在熱成像儀的鏡頭上,不要用紙張或者布擦拭,可能會刮壞鏡片表面的增透膜鍍層,建議用無水酒精蘸棉花輕微擦拭。
通常熱成像儀可以使用的最低環(huán)境溫度為-10℃,如果在這種環(huán)境溫度下不做任何保護措施直接檢測,可能會造成鏡頭花屏。而塑料袋具有高透射率和低吸收率,大部分的紅外輻射會直接穿透塑料袋,對測量結(jié)果影響微弱,因此可以將熱成像儀放在保溫袋中,使用時候套進塑料袋里進行短時測試。
03
發(fā)射率
選擇合適的發(fā)射率,是熱成像儀使用中最核心、最基礎(chǔ)也是最容易出錯的概念之一。前面提到過,發(fā)射率衡量的是物體表面發(fā)射紅外輻射的能力,其值介于0(完美鏡面)~1(黑體)之間。有用過熱成像儀測功率單元的工程師們都有這樣的經(jīng)驗,測溫的時候需要把表面涂黑,這樣潛意識里已經(jīng)有了個結(jié)論,深色物體發(fā)射率高,黑色物體可以接近0.95,熱成像儀不需要做修正,其實這并不正確。那你想過沒有醫(yī)生用額溫槍測你體溫時,為什么沒有用墨汁把你額頭涂黑?難道物理學(xué)不存在了?其實醫(yī)生也未必知道,你的額頭發(fā)射率高達0.98,非常優(yōu)秀的“黑體”。

從物理學(xué)的角度來看,發(fā)射率主要受材料類型、表面粗糙度和表面涂層等因素影響:
材料類型
這是最根本的因素。不同材料的分子結(jié)構(gòu),化學(xué)鍵和電子能級決定了它們吸收和輻射能量的固有能力。通常導(dǎo)體(如金屬)具有低發(fā)射率,其表面的自由電子能非常有效地反射紅外輻射,因此自身發(fā)射輻射的能力就較差,如下圖中的拋光鋁、黃銅鏡面;絕緣體(非金屬)則常具有高發(fā)射率,他們的分子結(jié)構(gòu)更易吸收和發(fā)射紅外輻射,如下圖中的FR4、絕緣膠布;而半導(dǎo)體的發(fā)射率則介于二者之間,并可根據(jù)其摻雜程度而變化,如下圖中的氧化鋁。

表面粗糙度
對金屬來說,這是一個很重要的影響因素。如果對金屬表面做拋光,它會將大部分紅外輻射反射掉,如上圖中的拋光鋁的發(fā)射率僅為0.09;而若是對金屬表面做氧化或者噴砂,會讓其表面變得粗糙,微小的凹凸不平形成了空腔效應(yīng),紅外輻射在表面這些空腔中被多次反射和吸收,發(fā)射率也會相應(yīng)提升,如上圖中的輕度氧化鋁,發(fā)射率在0.1~0.2之間。
表面涂層
任何改變表面的東西都會改變其發(fā)射率。化學(xué)層面,可以表面氧化,生銹的鐵的發(fā)射率約0.6,而拋光的鐵則為0.05。物理層面較為簡單,可以選擇在物體表面噴漆或者貼絕緣膠帶,都可以將發(fā)射率提升到0.9以上。
通常噴漆法適用于較小目標(biāo),如芯片表面、管腳等,且應(yīng)盡量保證漆面均勻,薄但要覆蓋住目標(biāo)表面。一般膠帶法適用于較大目標(biāo),如散熱模塊,金屬表面等,且一般膠帶只能耐溫100℃,若檢測高溫建議使用高溫膠帶。貼膠帶時應(yīng)保證與被測目標(biāo)表面緊密接觸,沒有氣泡或者褶皺。無論是噴漆還是膠帶法,都要預(yù)留至少5分鐘的時間來保證其和被測目標(biāo)充分達到熱平衡的狀態(tài)。
但是要注意的是,噴漆法和貼膠帶法可能會影響金屬表面的散熱,改變原有金屬表面的溫度,且噴漆后不方便擦拭,膠帶法也不適用于一些不規(guī)則的物體。這個時候還可以使用導(dǎo)熱硅脂法,選用合適導(dǎo)熱系數(shù)的導(dǎo)熱硅脂,既可以真實反映金屬表面的溫度狀況,又具有較高發(fā)射率(上圖中為例,發(fā)射率約為0.95),使用后還可輕松擦拭。
注:上述三種方法摘自《福祿克熱像儀常見問答口袋書》2024年版。
功率半導(dǎo)體芯片表面溫度的測量
JEDEC出版物JEP138 User guidelines for IR thermal imaging determination of die temperature,這種方法主要用于電力電子系統(tǒng)定型設(shè)計,對散熱系統(tǒng)進行定標(biāo),參考《功率器件熱設(shè)計基礎(chǔ)(三)——功率半導(dǎo)體殼溫和散熱器溫度定義和測試方法》。
紅外相機測溫需要做發(fā)射率矯正,模塊需要去膠,涂黑,JEP138建議了黑色涂層厚度控制在25-50um,涂層表面的發(fā)射率大于0.95。注意,哪怕按照J(rèn)EP138建議,也會改變芯片的熱特性,均勻的高發(fā)射率層可將峰值結(jié)溫降低多達2%(°K)。
結(jié)論
熱成像儀測溫度是一項實踐性很強的工作,是一項綜合考慮測量條件的技術(shù)活,它能將不可見的紅外輻射轉(zhuǎn)化為直觀的熱圖像,成為故障診斷、系統(tǒng)檢測的好幫手。獲得準(zhǔn)確溫度也并非簡單按下快門,若想提升測量精度就必須理解影響其精度的關(guān)鍵因素。無論是調(diào)整合適的測量距離、干燥整潔的測試環(huán)境還是為測試目標(biāo)設(shè)定合適的發(fā)射率,都會幫助提升測量結(jié)果的準(zhǔn)確性。建議參考《福祿克熱像儀常見問答口袋書》2024年版,口袋書中整理了40個常見問答,另外,JEP138全文有11頁,全文也可以在JEDEC下載。











評論